ภาพรวมของแพลตฟอร์มการแยกการสั่นสะเทือนที่ใช้งานอยู่

STACIS ® III เป็นระบบแยกการสั่นสะเทือนที่ยืดหยุ่น ระบบแพลตฟอร์มการแยกการสั่นสะเทือนที่ใช้งานอยู่ STACIS ใช้เซ็นเซอร์การสั่นสะเทือนแรงเฉื่อยขั้นสูงอัลกอริทึมการควบคุมขั้นสูงและตัวกระตุ้น piezoelectric เพื่อกรองการเคลื่อนไหวของพื้นดินโดยการวัดกิจกรรมภาคพื้นดินอย่างต่อเนื่องจากนั้นขยายและหดตัวกระตุ้น piezoelectric เพื่อกำจัดการสั่นสะเทือนแบบเรียลไทม์

STACIS ** ได้รับการออกแบบมาเพื่อแยก microlithography ความแม่นยำการวัดและการตรวจสอบอุปกรณ์ในโรงงานเซมิคอนดักเตอร์ขั้นสูงได้กลายเป็นโซลูชันมาตรฐานอุตสาหกรรมสำหรับ ** เครื่องมือที่ละเอียดอ่อนในสภาพแวดล้อมที่มีเสียงดัง (รวมถึง แต่ไม่ จำกัด เฉพาะโรงงานเซมิคอนดักเตอร์ห้องปฏิบัติการวิเคราะห์ความล้มเหลวการวิจัยเทคโนโลยีนาโนโรงงานผลิตนาโนและศูนย์วิจัยวัสดุ

ระบบแพลตฟอร์มแยกการสั่นสะเทือนแบบแอคทีฟ STACIS III ประกอบด้วยตัวควบคุมดิจิตอลที่ได้รับการปรับปรุงใหม่ DC-2020 ** ระบบควบคุมใหม่นี้มาพร้อมกับโปรเซสเซอร์แบบ dual-core, Ethernet และพอร์ตอนุกรม USB ที่แผงด้านหน้าและด้านหลังเพื่อให้ผู้ใช้มีอินเทอร์เฟซผู้ใช้แบบกราฟิก (GUI) ที่ทันสมัยและใช้งานง่าย ด้วยการติดตั้งที่ประสบความสำเร็จหลายร้อยกรณีทั่วโลก STACIS เป็นระบบแยกการสั่นสะเทือนในอุดมคติสำหรับเครื่องมือที่ไวต่อการสั่นสะเทือน **

ข้อดีของระบบแพลตฟอร์มการแยกการสั่นสะเทือนที่ใช้งานอยู่ STACIS III

STACIS แข็งกว่าตัวแยกการสั่นสะเทือนของอากาศหลายร้อยเท่าโดยไม่มีข้อ จำกัด ของระบบแยกการสั่นสะเทือนของอากาศ มันไม่มีช่วงล่าง "นุ่ม" ซึ่งแตกต่างจากระบบ Active Air Stacis สามารถวางไว้ใต้เครื่องมือที่มีระบบแยกการสั่นสะเทือนของอากาศภายในเพื่อให้ทั้งสองระบบทำงานในสถานะ **

การออกแบบแบบอนุกรมที่เป็นเอกลักษณ์และเทคโนโลยี piezoelectric กำลังสูงที่เป็นกรรมสิทธิ์ช่วยให้สามารถใช้แบนด์วิดธ์ที่ใช้งานได้กว้างถึง 0.6 Hz *** 150 Hz และประสิทธิภาพการแยกการสั่นสะเทือนที่ใช้งานได้ 90% จาก 2 Hz

ระบบแพลตฟอร์มการแยกการสั่นสะเทือนที่ใช้งานอยู่ STACIS III คุณสมบัติ

▪ ** ตัวควบคุมดิจิตอล DC-2020 ที่ปรับปรุงใหม่ให้ส่วนติดต่อผู้ใช้แบบกราฟิกที่ใช้งานง่าย

▪ การแยกการสั่นสะเทือนเริ่มต้นที่ 0.6 เฮิรตซ์และถึง 40% *** 70% ที่ 1Hz

▪ อัตราการแยกการสั่นสะเทือนในแนวตั้งและแนวนอนมากกว่า 90% ที่ความถี่ 2 เฮิรตซ์และสูงกว่า

▪ ลดความต้องการและค่าใช้จ่ายในการก่อสร้างของโครงสร้างพื้นฐานแม้จะมีอุปกรณ์สั่นสะเทือนภายนอกขนาดใหญ่ก็สามารถทำงานได้ตามปกติ

▪ ช่วงการแยกการสั่นสะเทือนที่มีประสิทธิภาพ 0.6Hz ถึง 150Hz

▪ ได้รับการยอมรับอย่างกว้างขวางและได้รับการยอมรับจากผู้ใช้จำนวนมาก

▪ การออกแบบติดตั้งแบบแข็ง 6 ทิศทางโดยไม่ต้องใช้ระงับอากาศ

▪ ระบบควบคุมที่ทรงพลังไม่จำเป็นต้องปรับเทียบใหม่อย่างสม่ำเสมอ

▪ point-of-use design program เข้ากันได้อย่างราบรื่นกับระบบแยกการสั่นสะเทือนที่มีอยู่ของลูกค้า

▪ เมื่อสภาพแวดล้อมภายนอกเปลี่ยนไประบบจะปรับโดยอัตโนมัติเพื่อให้เหมาะกับสถานการณ์การสั่นสะเทือนภายนอกที่แตกต่างกัน

▪ STACIS โดย TMC ® เทคโนโลยี ใช้ Piezoelectric Actuator เพื่อลดการสั่นสะเทือนที่ใช้งานอยู่

▪ ตัวควบคุมดิจิตอลและอินเทอร์เฟซผู้ใช้แบบกราฟิก (GUI) บนพีซี

▪ ปรับปรุงผลผลิตคุณภาพของผลิตภัณฑ์ของลูกค้าอัตราผลิตภัณฑ์สำเร็จรูป

▪ เป็นไปตามมาตรฐาน RoHS

▪ ** แบนด์วิดธ์การแยกการสั่นสะเทือนที่ใช้งานได้กว้างและผลการแยกการสั่นสะเทือนความถี่ต่ำของ **

▪ การกำจัดการสั่นสะเทือนที่ใช้งานได้ของ Ahz, ** การแยกการสั่นสะเทือนส่วนใหญ่อยู่ในย่านความถี่ 0.6-6Hz

▪ การออกแบบซ้อนกันได้

▪ โครงสร้างการติดตั้งแบบแข็งที่ใช้งานแทนการระงับแบบอ่อนไม่มีการดริฟท์ความถี่ต่ำองค์ประกอบที่ใช้งานเชื่อมต่อกับสปริงแข็ง

▪ สปริงแบบพาสซีฟกรองเสียงสะท้อนของโหลดจากเซ็นเซอร์ STACIS จำเป็นต้องมีการปรับแต่งน้อยมากแม้ *** ไม่มีการปรับแต่ง

▪ สามารถใช้งานร่วมกับตัวแยกภายในของเครื่องมือเนื่องจากความต้านทานไม่ตรงกัน

▪ โหลดได้ถึง 2000 กิโลกรัม

▪ ระบบแยกการสั่นสะเทือนที่ใช้งานอยู่ในตลาด**

ประสิทธิภาพของแพลตฟอร์มการแยกการสั่นสะเทือนที่ใช้งานอยู่

การทดสอบน้ำหนักบรรทุก 4,500 ปอนด์ (2045 กิโลกรัม) โดยใช้การสั่นสะเทือนจำลองของ VC-C (500 μ นิ้วต่อวินาที, 12.5 μ เมตรต่อวินาที RMS)

ข้อมูลจำเพาะของแพลตฟอร์มการแยกการสั่นสะเทือนที่ใช้งานอยู่

ข้อกำหนดด้านประสิทธิภาพ

ผู้ใช้ STACIS และพื้นที่การใช้งาน

1, ไมโครอิเล็กทรอนิกส์, เซมิคอนดักเตอร์

▪ การตรวจจับเวเฟอร์

▪ เทคโนโลยีไมโครโฟโตกราฟี

▪ การสอบเทียบหน้ากาก

2. การวิจัยทางวิทยาศาสตร์นาโนเทคโนโลยี

▪ SEM、TEM

▪ STEM、SPM

3 โต๊ะเลเซอร์

▪ วิทยาศาสตร์เพื่อชีวิต การวิจัยและพัฒนายา

4, การประยุกต์ใช้ในอุตสาหกรรม

▪ เครื่องจักรความแม่นยำ

ทำไมต้องเลือกระบบแยกการสั่นสะเทือนที่ใช้งานอยู่?

▪ ลดการสั่นสะเทือนของพื้นดินอย่างรุนแรงจาก <1Hz แพลตฟอร์มนิวเมติกไม่สามารถเล่นแยกการสั่นสะเทือนที่มีประสิทธิภาพที่ความถี่ต่ำนี้

▪ ปรับปรุงคุณภาพปริมาณการผลิต

▪ ความสามารถในการถ่ายภาพที่ละเอียดอ่อนยิ่งขึ้น

▪ การวิจัยที่ทันสมัย

▪ มีเสถียรภาพมากกว่าแพลตฟอร์มนิวเมติก

▪ ** โซลูชั่นที่ตรงกับพารามิเตอร์การติดตั้งสถานที่มาตรฐานของ SEM

▪ ทำให้ต้นทุนทางวิศวกรรมของห้องปฏิบัติการและอุปกรณ์วิจัยใหม่ลดลง

ทำไมต้องเลือก STACIS สำหรับระบบแยกการสั่นสะเทือนที่ใช้งานอยู่

▪ ตรงกับเสียงของนักวิจัย ให้สภาพแวดล้อมที่ปราศจากแผ่นดินไหวให้มากที่สุด

▪ ** ระบบแยกการสั่นสะเทือนความถี่ต่ำที่แข็งแกร่งในตลาด

▪ ขณะนี้ผู้ผลิต SEM ทั้งหมดได้ประกาศข้อกำหนดพารามิเตอร์การติดตั้งและพารามิเตอร์การสั่นสะเทือนที่จำเป็นต้องใช้ระบบแยกการสั่นสะเทือนที่ใช้งานอยู่เพื่อตอบสนอง

▪ STACIS ** ถูกคิดค้นขึ้นในปี 1990 และได้รับการพัฒนาต่อไปโดย TMC ได้พัฒนาและติดตั้งระบบแยกการสั่นสะเทือนที่ใช้งานอยู่หลายพันระบบซึ่งเป็นโซลูชันที่เชื่อถือได้ในด้านการควบคุมการแยกการสั่นสะเทือนที่ใช้งานอยู่

STACIS แข็งแกร่งกว่าตัวแยกนิวเมติกหลายร้อยเท่า

เวลาที่มีเสถียรภาพในการตอบสนองต่อการรบกวนเนื่องจากการออกแบบอนุกรมที่เป็นเอกลักษณ์ในขณะที่สั้นลงอย่างมากจึงเหมาะอย่างยิ่งสำหรับการผลิตเครื่องจักรการโหลดแบบไดนามิกเลเซอร์หรือแหล่งกำเนิดแสงจำเป็นต้องติดตั้งเคาน์เตอร์แข็งที่เป็นอิสระ

ข้อดีดังต่อไปนี้มีทั้งหมดในอุตสาหกรรม **

▪ แบนด์วิดธ์การแยกการสั่นสะเทือนที่ใช้งานอยู่ของ STACIS คือ 0.6Hz -150Hz

▪ การกำจัดการสั่นสะเทือนที่ใช้งานอยู่ 6 องศาอิสระการแยกการสั่นสะเทือน 8-10dB ที่ 1Hz

▪ การแยกการสั่นสะเทือนสูงถึง 90% (20dB) จาก 2-3Hz

การตรวจสอบด้านสิ่งแวดล้อมระดับมืออาชีพ

1, การสำรวจสิ่งแวดล้อมก่อนและหลังการติดตั้งรวมถึงการสั่นสะเทือนสนามแม่เหล็กคลื่นเสียง

2. การรับรองระบบสิ่งแวดล้อมสามารถให้หลังจากการติดตั้ง

▪ บริการสำรวจสิ่งแวดล้อมที่สมบูรณ์แบบ

▪ จัดทำรายงานสิ่งแวดล้อมระดับมืออาชีพ

▪ ให้การสั่นสะเทือนสนามแม่เหล็กการตรวจจับคลื่นเสียงและการแก้ปัญหา

▪ TMC แนะนำโปรแกรมอรรถประโยชน์ให้กับผู้ใช้จากประสบการณ์ที่กว้างขวาง

▪ ประสบการณ์ในอุตสาหกรรมมากกว่า 40 ปีในอุตสาหกรรม**

ใบสมัคร ภาพถ่าย