ภาพรวม

คล้ายกับ STACIS Quiet Island มาตรฐาน รุ่น Compact นี้ให้การยกเลิกการสั่นสะเทือนพื้นที่ใช้งานได้อย่างดีเยี่ยม sub-Hertz สําหรับเครื่องมือขนาดใหญ่ที่มีน้ำหนักมากกว่า 1134 กิโลกรั

ในขณะที่ Quiet Island มาตรฐานต้องการพื้นหรือหลุมที่ยกขึ้นที่มีความลึกอย่างน้อย 380 มม. (15 นิ้ว) Compact Quiet Island ใช้ตัวแยกโปรไฟล์ต่ำ STACIS IIIc และแพลตฟอร์มกระเป๋าที่กำหนดเองเพื่อให้ตรงกับความสูงของพื้นที่ยกขึ้นต่ำถึ

ภาพด้านล่างแสดงให้เห็นการเปรียบเทียบความสูงระหว่างความสูงมาตรฐานและความสูง Compact Quiet Island

สั่งซื้อ

เนื่องจากความซับซ้อน ความไว และมูลค่าของอุปกรณ์ที่ติดตั้งบนแพลตฟอร์ม Quiet Island® ของเรา เราไม่ได้รักษาหมายเลขแคตตาล็อกมาตรฐานสำหรับการสั่งซื้อ เราพิจารณาว่าการติดตั้งแต่ละครั้งเป ขั้นตอนที่แนะนำในการสั่งซื้อคือดังต่อไปนี้:

บอกเราว่าคุณต้องการแยกอุปกรณ์หรือเครื่องมืออะไร เนื่องจากฐานที่ติดตั้งของเรา มันเป็นไปได้ว่าเราได้ออกแบบแพลตฟอร์มตามความต้องการของแอพพลิเคชันของคุณแล้ว นอกจากนี้ เรายังคงติดต่อกับ stepper, aligner, SEM และผู้ผลิตเครื่องมืออื่น ๆ เพื่อรักษาปัจจุบันกับขนาด, รูปร่าง, การเปลี่ยนแปลงน้ำหนัก และข้อกำหนดการสั่นสะเทื

ให้ข้อมูลการสั่นสะเทือนพื้นหรือหารือกับเราวิธีการจัดให้ข้อมูลนี้วัด