การเหนี่ยวนำคู่พลาสมามวลสเปกตรัม - ICP-MS เป็นองค์ประกอบอนินทรีย์และเทคโนโลยีการวิเคราะห์ไอโซโทปใหม่ซึ่งสามารถตรวจจับองค์ประกอบเกือบทั้งหมดในตารางวงจรได้อย่างรวดเร็วและในเวลาเดียวกัน เทคโนโลยี ICP-MS ในความสามารถในการวิเคราะห์มากกว่าผลรวมของเทคโนโลยีการวิเคราะห์อนินทรีย์แบบดั้งเดิมเช่นเทคโนโลยีพลาสม่าสเปกตรัมแบบเหนี่ยวนำ (ICPAES), การดูดซับอะตอมของเตากราไฟท์ (GFAAS) และเทคโนโลยีการดูดซับอะตอมเย็นของปรอท (CVAAS) เรียกว่าการพัฒนาที่น่าตื่นเต้นที่สุดของเทคโนโลยีการวิเคราะห์ร่วมสมัย

การประยุกต์ใช้เทคโนโลยี Agilent ICP-MS ประกอบด้วย:
●การวิเคราะห์ตัวอย่างด้านสิ่งแวดล้อมรวมถึงการวิเคราะห์น้ำประปาน้ำผิวดินน้ำบาดาลน้ำทะเลและดินขยะทุกชนิด ฯลฯ
●การวิเคราะห์วัสดุเซมิคอนดักเตอร์
●การวิเคราะห์ตัวอย่างเช่นแก้วเซรามิคและถลุงแร่
●การวิจัยทางธรณีวิทยา
●การวิจัยทางคลินิกด้านอาหารชีวภาพและเภสัชกรรม
●การวิเคราะห์วัสดุนิวเคลียร์
●การวิเคราะห์ตัวอย่างปิโตรเคมี
●การประยุกต์ใช้และการวิจัยทางนิติวิทยาศาสตร์
●เมื่อเร็ว ๆ นี้การใช้ร่วมกับเทคโนโลยีการแยกสำหรับพิษสิ่งแวดล้อมวิทยาศาสตร์เพื่อชีวิตและสาขาอื่น ๆ ขององค์ประกอบราคาการวิเคราะห์ทางสัณฐานวิทยาได้กลายเป็นจุดสนใจของการประยุกต์ใช้เทคโนโลยี ICP-MS
ลักษณะการวิเคราะห์ ICP-MS:
●สามารถตรวจจับเกือบทุกองค์ประกอบในตารางวงจรได้อย่างรวดเร็วและในเวลาเดียวกัน
●ขีด จำกัด การตรวจสอบขั้นต่ำ (ต่ำถึงระดับ ppq)
● การวิเคราะห์อัตราส่วนผลประโยชน์/ค่าใช้จ่ายที่ดีที่สุด
●ช่วงไดนามิกเชิงเส้นที่กว้างที่สุด - สามารถตรวจจับความเข้มข้นได้โดยตรงจาก ppq ถึงหลายร้อย ppm
●สายสเปกตรัมที่ง่ายที่สุดและการรบกวนน้อยที่สุดความแม่นยำและความแม่นยำที่ดี
●ปริมาณตัวอย่างที่ต้องการต่ำมาก (ul ถึง ml) ความเร็วในการวิเคราะห์ที่รวดเร็ว (1 ~ 3 นาที / ตัวอย่าง)
●โหมดการตรวจจับมีความยืดหยุ่นและหลากหลาย
การวิเคราะห์สารปนเปื้อน supertrack ในวัสดุที่ใช้กันทั่วไปในอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์:
ของแข็ง: Si; GaAa Monocrystalline Slice; ควอตซ์ซิลิคอนคาร์ไบด์และวัสดุเตาอื่น ๆ อิเล็กโทรดโลหะที่มีความบริสุทธิ์สูง ฯลฯ
ของเหลว: น้ำบริสุทธิ์พิเศษ; HF;HNO3; HCI; H2SO4; H2O2; น้ำแอมโมเนีย ฯลฯ
แก๊ส: SiH4; TE0S; NF3; N2 และอื่น ๆ
Agilent ICP-MS สามารถวิเคราะห์ตัวอย่างอินทรีย์ได้โดยตรง:
เทคโนโลยี Agilent ICP-MS ของพลาสม่าระบายความร้อนด้วยพลังงานที่มีประสิทธิภาพสูงและกำลังไฟสูงถูกนำมาใช้เพื่อตรวจสอบองค์ประกอบมลพิษระดับ PPT ของชุดของตัวอย่างอินทรีย์
●สำหรับตัวอย่างเหล่านี้วิธีการอื่น ๆ ไม่สามารถได้รับผลลัพธ์ที่น่าพอใจเทคโนโลยีพลาสมาเย็นแบบป้องกันพลังงานสูงเป็นวิธีการวิเคราะห์เดียว
●สารทำความสะอาดอัลคาไลน์ที่แข็งแกร่ง - tetramethyl แอมโมเนียไฮดรอกไซด์ (TMAH) ฯลฯ
●ตัวทำละลายอินทรีย์ทั่วไป - โทลูอีนไซลีน IPA ฯลฯ
●ตัวอย่างเมทริกซ์สูง - โฟโตกราฟฟิก, ผลึกเหลว, BPSG, PSG ฯลฯ สารทำความสะอาดที่ระเหยได้มาก - อะซิโตนเมทานอล ฯลฯ