เซ็นเซอร์ความดันบาง รุ่น CYG513 ได้รับการออกแบบมาเป็นพิเศษสำหรับการศึกษาด้านอากาศพลศาสตร์การกระจายตัวของสนามความดันพื้นผิวของรูปแบบการทดสอบในอุโมงค์ลม เหมาะอย่างยิ่งสำหรับการใช้งานในสภาพการทำงานที่รุ่นบางมากและไม่สามารถติดตั้งเซ็นเซอร์ชนิดโพรบขนาดเล็กด้วยการเจาะรู ติดตั้งเซ็นเซอร์ที่บางมากโดยตรงหรือขุดหลุมตื้นเพื่อฝังการติดตั้งพื้นผิวของรุ่นแบนราบ สายนำที่มีความยืดหยุ่นพิเศษบางมากสามารถติดกับพื้นผิวของแบบจำลองได้โดยตรง ดังนั้นโดยพื้นฐานแล้วมันไม่ส่งผลกระทบต่อสนามทดสอบ
ส่วนประกอบที่ไวต่อแรงกดของ CYG513 ได้รับการออกแบบและผลิตโดยใช้เทคโนโลยี MEMS ขั้นสูง สามมิติแบบบูรณาการการประมวลผลสองด้านซิลิคอน piezo-resistive ความดันส่วนประกอบที่มีความสำคัญมีความแม่นยำเชิงเส้นที่ดีเยี่ยมการฉีดไอออนเทคโนโลยีการพิมพ์หินที่ละเอียดอ่อนความสอดคล้องสูงของสะพานความเครียด Whiston ทำให้มีการลอยตัวของอุณหภูมิขนาดเล็กการประมวลผลทางกลขนาดเล็กของร่างกายการกัดกร่อน isotropic ที่แม่นยำและเทคโนโลยีการเชื่อมขั้วบวกซิลิกอนแก้วทำให้โครงสร้างความไวต่อแรงของฟิล์มซิลิกอนมีความไวสูงเสถียรภาพที่ดีมากสมรรถนะแบบไดนามิกที่ดีเยี่ยมในเวลาเดียวกันมีความหนาบาง ความหนารวมของโครงสร้างที่ไวต่อแรงแบบบูรณาการและโครงสร้างเสริมแรงของพื้นผิวมีเพียง 0.9 มม. ซึ่งเหมาะสำหรับการได้รับเซ็นเซอร์บางในขนาดสุดท้ายที่บางลง
CYG513 เป็นโหมดการวัดความดันมาตรวัดที่มีช่วงความดันมาตรฐาน 2, 5, 10, 25, 40, 60, 100, 160, 250, 400, 600, 1000kpa
โปรไฟล์ CYG513 เป็นแบบหัวเข็มขัดแบบวงกลมบาง เส้นผ่าศูนย์กลางต่ำสุดคือ Ф10mm และความหนา 4 มม. ความดันอ้างอิงสามารถนำออกที่เปิดด้านหลัง (513G) และเส้นเลือดฝอย (513D) ที่ด้านตัวนำด้านข้างลวดดึงออกเป็นสายไฟที่ยืดหยุ่น 5 เส้นยาว 1 เมตรพร้อมกับบาลานเซอร์ชดเชยสะพานที่ทำจากบอร์ด PCB ที่มีประโยชน์ที่ปลาย 1 เมตรความหนาของสายไฟที่ยืดหยุ่นคือ 0.15 มม. และความกว้าง 4 มม. (สายเคเบิลป้องกันแบบมัลติคอร์Φ2.5mmยังมีอยู่)
CYG513 มีความเข้ากันได้กับสื่อที่ยอดเยี่ยมเนื่องจากมีแรงดันย้อนกลับกับองค์ประกอบที่ละเอียดอ่อนและยังสามารถใช้สำหรับวัตถุประสงค์ทางไหลพลศาสตร์ มีโซนอุณหภูมิการทำงานที่กว้างพอสมควรและคุณสมบัติเสียงแบบไดนามิกที่ยอดเยี่ยมซึ่งสามารถใช้งานได้ที่ความถี่ต่ำถึงศูนย์และสูงถึงหลายหมื่นเฮิรตซ์
1, พารามิเตอร์ของตัวบ่งชี้ประสิทธิภาพ
| ตัวชี้วัด / เกรด | ความแม่นยำที่ไม่ใช่เชิงเส้น ±%FS |
ความซบเซาของการทำซ้ำ %FS |
ค่าสัมประสิทธิ์อุณหภูมิตำแหน่งศูนย์ ×10-4FS /℃ |
สัมประสิทธิ์อุณหภูมิความไว ×10-4FS /℃ |
ลอยที่ศูนย์ <mv/8h |
| JA | 0.5 | 0.1 | 5 | 5 | 0.2 |
| JB | 0.2 | 0.1 | 2 | 2 | 0.1 |
2 เอาท์พุทเต็มช่วง: นาที 30mv ทั่วไป 80mv สูงสุด 130mv
3, ความต้านทานอินพุตและเอาต์พุต: ต่ำสุด 3 kΩ Typ 5 kΩสูงสุด 7 kΩ
4, ป้อนข้อมูลการทำงานปัจจุบัน: 1mA (แหล่งกระแสคงที่)
5, ช่วงอุณหภูมิในการทำงาน: -55 ℃ ~ 120 ℃
6, ช่วงอุณหภูมิชดเชย: -10 ℃ ~ 80 ℃
7, ความจุเกินพิกัด: 200% ของช่วงที่กำหนด
8, ความไวต่อการเร่งความเร็ว: <0.001% FS / g
9, การวาดภาพขนาดโดยรวม:

