สมาชิกวีไอพี
กล้องจุลทรรศน์แรงอะตอมชนิดอัตโนมัติ AFM5500M
AFM5500M เป็นกล้องจุลทรรศน์แรงอะตอมชนิดอัตโนมัติเต็มรูปแบบพร้อมด้วยโต๊ะมอเตอร์อัตโนมัติขนาด 4 นิ้ว อุปกรณ์ในการเปลี่ยนคานเท้าแขน, คู่เลเซอร์, การตั้งค
รายละเอียดสินค้า
กล้องจุลทรรศน์แรงอะตอมชนิดอัตโนมัติ AFM5500M
AFM5500M เป็นกล้องจุลทรรศน์แรงอะตอมชนิดอัตโนมัติเต็มรูปแบบพร้อมด้วยโต๊ะมอเตอร์อัตโนมัติขนาด 4 นิ้ว อุปกรณ์ในการเปลี่ยนคานเท้าแขน, คู่เลเซอร์, การตั้งค่าพารามิเตอร์การทดสอบและการเชื่อมโยงอื่น ๆ ให้แพลตฟอร์มการทำงานอัตโนมัติเต็มรูปแบบ สแกนเนอร์ความแม่นยำสูงที่พัฒนาขึ้นใหม่และเซ็นเซอร์ 3 แกนที่มีเสียงรบกวนต่ำช่วยเพิ่มความแม่นยำในการวัดได้อย่างมาก นอกจากนี้การสังเกตร่วมกันและการวิเคราะห์มุมมองเดียวกันสามารถทำได้อย่างง่ายดายผ่านตารางตัวอย่างพิกัดที่ใช้ร่วมกัน SEM-AFM
- คำอธิบายไอคอน
บริษัทผลิต: Hitachi Hi-tech Science
-
คุณสมบัติ
-
พารามิเตอร์
-
Movie
-
ข้อมูลการสมัคร
คุณสมบัติ
1. ฟังก์ชั่นอัตโนมัติ
- ฟังก์ชั่นระบบอัตโนมัติแบบบูรณาการสูงแสวงหาการตรวจจับที่มีประสิทธิภาพสูง
- ลดข้อผิดพลาดในการทำงานของมนุษย์ในการตรวจจับ
โต๊ะมอเตอร์อัตโนมัติ 4 นิ้ว
ฟังก์ชั่น Cantilever เปลี่ยนอัตโนมัติ
2. ความน่าเชื่อถือ
ไม่รวมข้อผิดพลาดที่เกิดจากสาเหตุทางกล
- สแกนแนวนอนขนาดใหญ่
- ใช้กล้องจุลทรรศน์แรงอะตอมของเครื่องสแกนเนอร์แบบท่อเพื่อมุ่งเป้าไปที่พื้นผิวโค้งที่เกิดจากการเคลื่อนที่ของวงกลมของเครื่องสแกนเนอร์โดยปกติจะได้รับข้อมูลระนาบโดยการแก้ไขซอฟต์แวร์ อย่างไรก็ตามด้วยวิธีการแก้ไขซอฟต์แวร์ไม่สามารถกำจัดผลกระทบของการเคลื่อนไหวของวงกลมสแกนเนอร์ได้อย่างสมบูรณ์ภาพบิดเบี้ยวมักเกิดขึ้น
AFM5500M มาพร้อมกับเครื่องสแกนแนวนอนที่ได้รับการวิจัยและพัฒนาล่าสุดสำหรับการทดสอบที่แม่นยำโดยไม่ได้รับผลกระทบจากการเคลื่อนที่แบบวงกลม
Sample ：Amorphous silicon thin film on a silicon substrate
- การวัดมุมความแม่นยำสูง
- สแกนเนอร์ที่ใช้โดยกล้องจุลทรรศน์แรงอะตอมทั่วไป (cross talk) เมื่อยืดกล้องในแนวตั้ง นี่เป็นสาเหตุโดยตรงที่ภาพสร้างความผิดพลาดทางสัณฐานวิทยาในทิศทางแนวนอน
เครื่องสแกนเนอร์รุ่นใหม่ที่ติดตั้งใน AFM5500M ซึ่งไม่มีการดัดงอ (crosstalk) ในทิศทางแนวตั้งสามารถรับภาพที่ถูกต้องในทิศทางแนวนอนโดยไม่มีผลกระทบต่อการบิดเบือน
Sample : Textured-structure solar battery(having symmetrical structure due to its crystal orientation.)
- * เมื่อใช้ AFM5100N (Open Loop Control)
3. ฟิวชั่น
ฟิวชั่นที่ใกล้ชิด วิธีการตรวจจับและวิเคราะห์อื่น ๆ
ด้วยตารางตัวอย่างพิกัดที่ใช้ร่วมกันของ SEM-AFM การสังเกตและวิเคราะห์รูปร่างพื้นผิวของตัวอย่างโครงสร้างองค์ประกอบลักษณะทางกายภาพและอื่น ๆ สามารถทำได้ในมุมมองเดียวกัน
SEM-AFM ดูตัวอย่างในมุมมองเดียวกัน (ตัวอย่าง: กราฟีน / SiO2）
The ovrlay images createed by using AZblend Ver.2.1, ASTRON Inc.
ภาพด้านบนเป็นข้อมูลการใช้งานของภาพ AFM (AFM image) และศักยภาพไฟฟ้า (KFM image) ซึ่งถ่ายโดย AFM5500M และการซ้อนทับของภาพ SEM ตามลำดับ
- จากการวิเคราะห์ภาพ AFM สามารถตัดสินได้ว่าความคมชัดของ SEM แสดงถึงความหนาและความบางของชั้นกราฟีน
- จำนวนชั้นกราฟีนที่แตกต่างกันทำให้เกิดความแตกต่างของศักยภาพพื้นผิว (ฟังก์ชันการทำงาน)
- ความคมชัดของภาพ SEM นั้นแตกต่างกันและสามารถหาสาเหตุได้โดยการวัดสัณฐานวิทยา 3D ที่แม่นยำสูงและการวิเคราะห์ลักษณะทางกายภาพของ SPM
ในอนาคตมีแผนจะใช้ร่วมกับกล้องจุลทรรศน์อื่นๆ รวมทั้งเครื่องมือวิเคราะห์
พารามิเตอร์
| มาดาเต้ | ตารางมอเตอร์ความแม่นยำอัตโนมัติ ช่วงการสังเกตสูงสุด: 100 มม. (4 นิ้ว) โดเมนทั้งหมด ช่วงการเคลื่อนที่ของมอเตอร์: XY ± 50 มม., Z≥21 มม ระยะทางขั้นต่ำ: XY 2µm, Z 0.04µm |
|---|---|
| ขนาดตัวอย่างสูงสุด | เส้นผ่าศูนย์กลาง: 100 มม. (4 นิ้ว), ความหนา: 20 มม น้ำหนักตัวอย่าง: 2 กก |
| ช่วงการสแกน | 200µm x 200µm x 15µm (XY: การควบคุมวงปิด / Z: การตรวจสอบตัวเหนี่ยวนำ) |
| ระดับเสียงรบกวน RMS * | ต่ำกว่า 0.04 นาโนเมตร (โหมดความละเอียดสูง) |
| รีเซ็ตความแม่นยำ * | XY: ≤15nm (ระยะห่างมาตรฐานสำหรับ3σ, การวัด10μm) / Z: ≤1nm (ความลึกมาตรฐานสำหรับ3σ, การวัด100nm) |
| มุมฉาก XY | ±0.5° |
| BOW* | ต่ำกว่า 2 นาโนเมตร / 50 ไมโครเมตร |
| โหมดการตรวจจับ | การตรวจจับด้วยเลเซอร์ (ระบบออปติคอลการรบกวนต่ำ) |
| กล้องจุลทรรศน์ออปติคอล | กำลังขยาย: x1 ~ x7 ขอบเขตการมองเห็น: 910µm x 650µm ~ 130µm x 90µm อัตราการแสดงผล: x465 ~ x3255 (จอแสดงผล 27 นิ้ว) |
| โต๊ะดูดซับแรงกระแทก | โช้คอัพแบบตั้งโต๊ะ 500 มม. (W) x 600 มม. (D) x 84 มม. (H) ประมาณ 28 กก. |
| ฝาครอบป้องกันเสียง | 750 mm(W) x 877 mm (D) x 1400 mm(H)、 ประมาณ 237 กิโลกรัม |
| ขนาด・น้ำหนัก | 400 mm（W） x 526 mm（D） x 550 mm（H）、 ประมาณ 90 กิโลกรัม |
- * พารามิเตอร์เกี่ยวข้องกับการกำหนดค่าอุปกรณ์และสภาพแวดล้อมการวาง
| OS | Windows7 |
|---|---|
| RealTune ® II | ปรับความกว้างของคานเท้าแขนแรงสัมผัสอัตราการสแกนและข้อเสนอแนะของสัญญาณโดยอัตโนมัติ |
| ภาพการทำงาน | ฟังก์ชั่นการนำทางการทำงาน ฟังก์ชั่นการแสดงผลหลายหน้าต่าง (ทดสอบ / วิเคราะห์) ฟังก์ชั่นการซ้อนทับภาพ 3D ช่วงการสแกน / ฟังก์ชั่นการแสดงประวัติการวัด ฟังก์ชั่นการวิเคราะห์แบทช์ข้อมูล ฟังก์ชั่นการประเมินโพรบ |
| X, Y, Z สแกนแรงดันไดรฟ์ | 0～150 V |
| การทดสอบเวลา (จุดพิกเซล) | 4 ภาพ (สูงสุด 2048 x 2048) 2 ภาพ (สูงสุด 4096 x 4096) |
| สแกนรูปสี่เหลี่ยมผืนผ้า | 2:1、4:1、8:1、16:1、32:1、64:1、128:1、256:1、512:1、1,024:1 |
| ซอฟต์แวร์วิเคราะห์ | ฟังก์ชั่นการแสดงผล 3D, การวิเคราะห์ความหยาบ, การวิเคราะห์ส่วน, การวิเคราะห์ส่วนเฉลี่ย |
| ฟังก์ชั่นการควบคุมอัตโนมัติ | คานเท้าแขนเปลี่ยนอัตโนมัติ, การจัดตำแหน่งเลเซอร์อัตโนมัติ |
| ขนาด・น้ำหนัก | 340 mm（W） x 503 mm（D） x 550 mm（H）、 ประมาณ 34 กิโลกรัม |
| พาวเวอร์ซัพพลาย | AC100 ~ 240 V ± 10% AC |
| โหมดการทดสอบ | มาตรฐาน: AFM, DFM, PM (เฟส), ตัวเลือก FFM: สัณฐานวิทยา SIS, ลักษณะทางกายภาพของ SIS, LM-FFM、VE-AFM、Adhesion、Current、Pico-Current、SSRM、PRM、KFM、EFM（AC）、EFM（DC）、MFM |
- * Windows เป็นเครื่องหมายการค้าจดทะเบียนของ Microsoft Corporation ในสหรัฐอเมริกาและนอกสหรัฐอเมริกา
- * RealTune เป็นเครื่องหมายการค้าจดทะเบียนของ Hitachi Hi-Tech Science Corporation ในญี่ปุ่นสหรัฐอเมริกาและยุโรป
| รุ่น SEM ของ Hitachi พร้อมใช้งาน | SU8240, SU8230 (ชนิด H36 มม.), SU8220 (ชนิด H29 มม.) |
|---|---|
| ขนาดตารางตัวอย่าง | 41 mm（W） x 28 mm（D） x 16 mm （H） |
| ขนาดตัวอย่างสูงสุด | Φ20 mm x 7 mm |
| ความแม่นยำของศูนย์กลาง | ± 10µm (ความแม่นยำตรงกลางของ AFM) |
Movie
ข้อมูลการสมัคร
- SEM-SPM แบ่งปันพิกัด วิธี มุมมองเดียวกัน การสังเกต Graphene / SiO2(รูปแบบ PDF, 750kBytes)
ข้อมูลการสมัคร
แนะนำข้อมูลการประยุกต์ใช้กล้องจุลทรรศน์โพรบสแกน
คำแนะนำ
อธิบายหลักการและหลักการของรัฐต่าง ๆ ของกล้องจุลทรรศน์อุโมงค์แบบสแกน (STM) และกล้องจุลทรรศน์แรงอะตอม (AFM) เป็นต้น
ประวัติความเป็นมาและการพัฒนา SPM
อธิบายประวัติและพัฒนาการของกล้องจุลทรรศน์โพรบสแกนและอุปกรณ์ของเรา (Global site)
สอบถามออนไลน์
-
ติดต่อ
-
บริษัท
-
โทรศัพท์
-
อีเมล์
-
วีแชท
-
รหัสยืนยัน
-
เนื้อหาข้อความ
-