ภาพรวม

โรงงานผลิตเซมิคอนดักเตอร์ศูนย์นาโนเทคโนโลยีโรงงานนาโนและศูนย์การผลิตและการวิจัยที่มีความแม่นยำอื่น ๆ มักจะรวมห้องสะอาดเข้ากับระบบพื้นปลอมที่ใช้งานได้เพื่อตอบสนองความต้องการของสิ่งอำนวยความสะดวกที่ซับซ้อน (ท่อสายเคเบิลท่อก๊าซ ฯลฯ ) และรักษามาตรฐานการทำความสะอาดที่เข้มงวด พื้นดังกล่าวไม่เหมาะสำหรับการผลิตการตรวจจับและอุปกรณ์วัดที่ไวต่อการสั่นสะเทือน พื้นเคลื่อนย้ายไม่ได้ให้สภาพแวดล้อมการสั่นสะเทือนที่เงียบสงบที่จำเป็นสำหรับเครื่องมือเหล่านี้ TMC ของ Quiet Island เป็นโซลูชั่นที่เป็นนวัตกรรมใหม่เพื่อแทนที่ส่วนหนึ่งของพื้นที่ยกพื้นด้วย "เกาะที่เงียบสงบ" ซึ่งยึดติดกับพื้นด้านล่าง เกาะ Quiet ประกอบด้วยด้านบนของแพลตฟอร์มสำหรับห้องสะอาดที่เข้ากันได้และโครงสร้างการสนับสนุนเฉพาะสำหรับการใช้งานและเว็บไซต์

ลดการสั่นสะเทือน

องค์ประกอบการสนับสนุนหลักและเทคโนโลยีหลักของ Quiet Island ** ทั้งหมดรวมอยู่ในระบบลดการสั่นสะเทือนที่ใช้งาน STACIS III ระบบรองรับการลดการสั่นสะเทือนแบบแรงเฉื่อย "แข็ง" นี้เหมาะสำหรับเครื่องมือที่ไวต่อการสั่นสะเทือนใด ๆ ซึ่งช่วยให้เครื่องมือดังกล่าวทำงานได้ตามมาตรฐานสูง ** ในสภาพแวดล้อมที่มีเสียงดัง เครื่องมือการประมวลผลเวเฟอร์อัตโนมัติที่เข้ากันได้กับ STACIS III เครื่องมือถ่ายภาพลำแสงอิเล็กตรอนความละเอียดสูงเครื่องมือกัดลำแสงไอออนและเครื่องมือใด ๆ ที่มีระบบแยกการสั่นสะเทือนภายในแบบพาสซีฟหรือแบบใช้งาน (ดูสมุดปกขาวของเราเกี่ยวกับการซ้อนตัวแยกการสั่นสะเทือนแบบแอคทีฟบนตัวแยกการสั่นสะเทือนแบบแอคทีฟ) นอกจากนี้ยังมีคุณสมบัติการแยกการสั่นสะเทือน ** ในช่วงความถี่กว้าง และการออกแบบ "hard mount" นั้นยากมากดังนั้นสำหรับเครื่องมือที่สูงขึ้นหนักและเบาจะไม่มีปัญหาเรื่องความมั่นคง

Riser และวงเล็บ

ท่อไรเซอร์ที่แข็งแรงและทนทานเป็นพิเศษสำหรับรองรับตัวแยกการสั่นสะเทือนของ STACIS ได้รับการออกแบบโดยทีมวิศวกรที่มีประสบการณ์ของ TMC และผลิตโดยโรงงาน ISO 9001 ของเราตามมาตรฐานสูงและข้อกำหนดที่ได้รับการรับรองการเชื่อม แต่ละเกาะ Quiet ได้รับการออกแบบอย่างพิถีพิถันเพื่อให้เหมาะกับความสูงของพื้นดินที่สามารถเคลื่อนย้ายได้หลากหลายรูปทรงเรขาคณิตของพื้นดินและขนาดเครื่องมือ ด้วยการติดตั้งอุปกรณ์หลายพันเครื่องทั่วโลกที่รองรับเครื่องมือกว่า 200 รุ่น TMC จึงมีความรู้และประสบการณ์มากมายในการออกแบบโครงสร้างการสนับสนุนที่ตรงกับความต้องการของ STACIS และสิ่งอำนวยความสะดวกของคุณ

แพลตฟอร์มแข็ง

แพลตฟอร์มนี้ประกอบด้วยชั้นลอยแผ่นเหล็กหนา 4 นิ้ว (100 มม.) ออกแบบและผลิตโดย TMC ซึ่งแผ่นเหล็กถูกยึดรอบวัสดุหลักที่มีน้ำหนักเบาไม่สามารถบีบอัดได้และหมาด ๆ ผลการแบ่งชั้นของแผ่นเหล็กและแกนแข็งที่ยึดติดกับเรซินอีพ็อกซี่เข้ากับแผ่นสแตนเลสที่ไร้รอยต่อให้ความแข็งแกร่งและการกระแทกของโครงสร้างสูงมาก หน้าตัดขนาดใหญ่และปริมาณเหล็กทำให้เกิดความแข็งแกร่งโดยรวมสูงมาก ด้านบนและด้านข้างเป็นเปลือกสแตนเลสชิ้นเดียวอย่างต่อเนื่องเพื่อรักษาความสะอาดความงามและความสมบูรณ์ TMC สามารถออกแบบและผลิตแพลตฟอร์มเฉพาะสำหรับการใช้งานตามความต้องการรวมถึงการตัดรูปร่างพิเศษรูยึดและสลักเกลียวตา

Quiet Islands vs. Quiet Buildings

Designing a facility to meet the stringent Vibration Criteria of extremely precise imaging equipment can be very challenging, and often cost-prohibitive, particularly when not all tools in the facility require these very low vibration levels.[1]

Statistical representation (in terms of Mean plus Sigma Spectra) of vertical vibrations in a typical semiconductor fab production area at 'as built' and two times thereafter [2]

It is very difficult to isolate very large areas such as entire buildings, or an entire floor. It is also well documented that building vibration levels will increase relative to a design specification as the facility is populated with equipment and people. Repeated vibration measurements a few months, or a year later, show that floor vibration levels typically rise over time.[2]

The more cost effective and successful approach for achieving the stringent requirements of vibration sensitive tools, is to employ point-of use active vibration control with serial piezoelectric technology, particularly to mitigate challenging low frequency (less than 5 Hz) vibration (example here).

TMC can work with the your team to design a tool-specific Quiet Island solution. This process allows us to look at each tool specifically and provide the best performing solution. A building design incorporating one large concrete sub-floor “slab” with a “raised floor” allows for flexibility of tool selection post-construction. Replacing the raised floor with a Quiet Island only where needed provides the most sensitive tool set with a vibration environment an order of magnitude, at least, lower than the sub-floor.

See also The Benefits of Including Floor Vibration Control for Nano-Tech Facilities over Designing 'Quiet' Buildings article on AZO Nano.

1Evolving criteria for research facilities: I – Vibration, Colin Gordon Associates, SPIE Conference 5933: Buildings for Nanoscale Research and Beyond, 2005, Source

2Maturation of the Vibration Environment in Advanced Technology Facilities, Colin Gordon Associates, Journal of the IEST, V. 48, No. 1, 2005, Source

ข้อดีของ Quiet Island

เทคโนโลยีลดแรงสั่นสะเทือนแบบ piezoelectric ที่ใช้งานร่วมกับ STACIS - TMC Industry ** การออกแบบ "hard mount" และการแยกการสั่นสะเทือนที่เริ่มต้นที่ 0.6 Hz เข้ากันได้กับเครื่องมือที่มีตัวแยกการสั่นสะเทือนในตัว

ความยืดหยุ่นของโมดูลาร์การปรับแต่งและการจัดตำแหน่ง - แต่ละแพลตฟอร์มได้รับการปรับแต่งให้เหมาะสมกับการใช้งานของลูกค้า แต่แตกต่างจากแพลตฟอร์มคอนกรีตที่สามารถกำหนดค่าใหม่ได้อย่างง่ายดายหากเครื่องมือหรือลักษณะพื้นเปลี่ยนไป

ความเชี่ยวชาญ - TMC มีประสบการณ์มากมายในการทำงานกับ ** ผู้ผลิตเซมิคอนดักเตอร์สถาบันวิจัยทางวิทยาศาสตร์และ OEM ที่มีความแม่นยำสูง เราเข้าใจลูกค้าและความต้องการของพวกเขา เราออกแบบและผลิตเอง

ผลการดำเนินงาน

บน 24 "H, 40" x 60" Quiet Island, ขาตั้ง STACIS 4 ที่นั่ง,
การวัดอัตราการส่งผ่านภายใต้อินพุต VC-C จากพื้นดิน

สเปค

ข้อกำหนดด้านประสิทธิภาพ

การออกแบบตัวแยกการสั่นสะเทือนข้อกำหนดด้านสิ่งแวดล้อมและสาธารณูปโภค

ข้อมูลจำเพาะของตัวควบคุม DC-2020

พารามิเตอร์อื่น ๆ

อื่นๆการกำหนดค่า Quiet Island

เครื่องมือขนาดใหญ่ที่ไม่มีข้อกำหนดของการสั่นสะเทือนด้านสิ่งแวดล้อมมักต้องการขาตั้งที่แข็งแรงและมั่นคงซึ่งแยกออกจากพื้นดินที่เคลื่อนย้ายได้ เกาะ Quiet แข็งเป็นทางออกที่ดี เกาะ Quiet แข็งมีเดียวกันด้านบนของแพลตฟอร์มที่มีประสิทธิภาพสูงและยังสามารถออกแบบที่กำหนดเองสำหรับความสูงใด ๆ รูปทรงเรขาคณิตของพื้นดินที่เคลื่อนย้ายได้และขนาดเครื่องมือต่างๆ TMC นำเสนอเสาค้ำประกันหลากหลายประเภทเพื่อตอบสนองความต้องการที่หลากหลาย ส่งผลให้เกิดโซลูชันแบบแยกส่วน มีความยืดหยุ่นในการปรับตำแหน่งและอัพเกรดเฉพาะสำหรับเครื่องมือและโรงงาน

ใบสมัคร ภาพถ่าย

เนื่องจากการติดตั้งในเกาะ Quiet ของเรา ® ความซับซ้อนความไวและความคุ้มค่าของอุปกรณ์บนแพลตฟอร์มพื้นล่างเราไม่ได้สร้างแคตตาล็อกมาตรฐานสำหรับการสั่งซื้อหมายเลข

เราคิดว่าแต่ละแพลตฟอร์มควรได้รับการออกแบบที่กำหนดเองสำหรับการใช้งานเฉพาะ ขั้นตอนการสั่งซื้อที่แนะนำมีดังนี้:

▪ บอกให้เราทราบถึงอุปกรณ์หรือเครื่องมือที่คุณต้องการกักตัว เนื่องจากเราได้ติดตั้งอุปกรณ์หลายพันรายการเราอาจมีการออกแบบแพลตฟอร์มที่ตรงกับความต้องการของแอปพลิเคชันของคุณ นอกจากนี้เรามีการติดต่ออย่างใกล้ชิดกับผู้ผลิตเครื่องมือ Stepper, Aligner, SEM และเครื่องมืออื่น ๆ ดังนั้นเราจึงเข้าใจ ** ขนาดรูปร่างการเปลี่ยนแปลงน้ำหนักและข้อมูลจำเพาะการสั่นสะเทือนของพื้นดินใหม่

▪ หรือคุณอาจต้องการแพลตฟอร์มที่เหมาะสมกับระบบกริดพื้นเคลื่อนย้ายได้ ลูกค้ามักจะเลือกพื้นขนาด 47 x 47 นิ้ว (1190 x 1190 มม.) เพื่อทดแทนกระเบื้องปูพื้นที่เป็นเลขคู่

▪ บอกระดับความสูงของพื้นยกพื้นยกพื้นสูง

▪ โปรดอธิบายหรือให้ภาพประกอบที่แสดงรูปแบบรูใด ๆ ในพื้นด้านล่างหรือรูปทรงเรขาคณิตของคานเหล็ก / แผ่นตรวจสอบ

▪ โปรดให้ข้อมูลการสั่นสะเทือนของพื้นดินหรือพูดคุยกับเราเกี่ยวกับวิธีการจัดเรียงการวัดข้อมูลเหล่านี้

▪ พิจารณาความไวการสั่นสะเทือนของเครื่องมือ การออกแบบสตรัทแบบแข็งและไม่สะท้อนของเราให้การสนับสนุนอย่างเต็มที่สำหรับเครื่องมือมากมาย การใช้งานที่ละเอียดอ่อนมากขึ้นจะต้องรองรับอากาศหรือ piezoelectric