Pfeifferการประยุกต์ใช้ปั๊มโมเลกุลในสายการผลิต LOW-E (Low Emission Glass)
LOW-E ชื่อเต็ม emissivity ต่ำเป็นกระจกเคลือบรังสีต่ำ กระจกสะท้อนแสงความร้อนสัมพัทธ์เป็นกระจกประหยัดพลังงานชนิดใหม่ ปัจจุบันเทคโนโลยีการเคลือบสูญญากาศแมกนีตรอนสปัตเตอร์ (วิธีการออฟไลน์) ถูกนำมาใช้ในระดับสากลในการผลิตแก้ว Low-E เยอรมนี Pufa Pfeiffer ขายโดย บริษัท เบอร์ตงปั๊มโมเลกุลนำมาประยุกต์ใช้กับเรื่องนี้ได้สำเร็จ
หลักการ: แก้วถูกวางไว้ในแนวตั้งบนชั้นวางป้อนเข้าไปในสภาพแวดล้อมสูญญากาศขนาด 10-1 ปาสคาลผ่านปริมาณที่เหมาะสมของก๊าซกระบวนการ (ก๊าซเฉื่อย Ar หรือก๊าซปฏิกิริยา O2, N2) และรักษาระดับสูญญากาศให้คงที่ ฝังเป้าหมาย Ag, Si ฯลฯ ลงในแคโทดและใส่สนามแม่เหล็กในแนวนอนตั้งฉากกับแคโทดเพื่อสร้างเป้าหมายควบคุมแม่เหล็ก ด้วยเป้าหมายควบคุมแม่เหล็กเป็นแคโทดบวกกับแหล่งจ่ายไฟ DC หรือ AC ภายใต้การกระทำของแรงดันไฟฟ้าสูงก๊าซกระบวนการจะสร้างไอออนไนซ์และสร้างพลาสมา ในหมู่พวกเขาอิเล็กตรอนภายใต้การกระทำร่วมกันของสนามไฟฟ้าและสนามแม่เหล็กดำเนินการเคลื่อนที่แบบเกลียวความเร็วสูงชนกับโมเลกุลของก๊าซผลิตไอออนบวกและอิเล็กตรอนมากขึ้น ไอออนบวกภายใต้การกระทำของสนามไฟฟ้ากระทบกับเป้าหมายแคโทดหลังจากบรรลุพลังงานบางอย่างและเป้าหมายที่ถูกกระเด็นออกมาจะถูกฝากไว้บนพื้นฐานแก้วเพื่อสร้างฟิล์ม เพื่อสร้างชั้นฟิล์มที่สม่ำเสมอสม่ำเสมอเป้าหมายแคโทดจะเคลื่อนที่ไปมาใกล้กับพื้นผิวกระจก เพื่อให้ได้ฟิล์มหลายชั้นต้องใช้แคโทดหลายตัวแต่ละตัวจะเคลื่อนที่ไปมาบนพื้นผิวกระจกเพื่อสร้างความหนาของฟิล์มบางอย่าง
เยอรมนี Pufa PFEIFFER ได้รับความโปรดปรานจากลูกค้าในตลาด LOW-E ด้วยประสบการณ์การผลิตสูญญากาศมากกว่า 120 ปีและบริการหลังการขายและการสนับสนุนด้านเทคนิคทั่วโลก Von เยอรมนี Ardener (VON ARDENNE) เป็นลูกค้าทั่วไปที่สุด PFEIFFERปั๊มโมเลกุลสายการผลิต LOE-E ใช้ใน Xinyi Glass และ Nanbo ยักษ์ใหญ่ด้านการผลิตกระจกของจีนเป็นต้น
Pfeifferปั๊มโมเลกุลข้อดี:
- ความเร็วในการดึงหลายแบบสำหรับทางเลือกของลูกค้าความเร็วในการดึง 1000 ถึง 2000L / S
- สำหรับ H2, He และ Ar, CF4มีอัตราการสูบน้ำสูง
- ตำแหน่งการติดตั้ง จาก 0 ถึง 90 องศา 90 ถึง 180 องศา
- การไหลเวียนของก๊าซสูงแม้ Ar, CF4
- ชุดขับเคลื่อน TC 1200 ในตัวสามารถเชื่อมต่อกับแหล่งจ่ายไฟได้โดยตรง
- ความสามารถในการป้องกันการกัดกร่อนสำหรับตัวเลือก
- อินเตอร์เฟซอินเตอร์เฟซที่อุดมไปด้วย: RS-485 เช่นเดียวกับการควบคุมระยะไกล; profibus หรือ devicenet ให้เลือก
- มีเกรด IP 54 และ Semi S2
- ระบบโรเตอร์แบริ่งที่มั่นคงและปลอดภัย
- สอดคล้องกับ UL, CSA และใบรับรอง TUV
- ติดตั้งง่าย