เพียร่า พลัส ใหม่ ถูกออกแบบมาเป็นพิเศษเพื่อตอบสนองความต้องการล่าสุดของอุตสาหกรรมเวเฟอร์สำหรับขนาดและตัวชี้วัดของอุปกรณ์ Pura Plus เป็นเครื่องส่งสัญญาณความชื้นแบบอินไลน์ที่ติดตั้งแบบหลายทางภายในโรงงานเซมิคอนดักเตอร์ที่ปลายสุดของการจัดหาก๊าซไปยังสายการผลิตเพื่อตรวจสอบการใช้งานของก๊าซเฉื่อยที่มีความบริสุทธิ์สูง ระบบก๊าซในโรงงานมีการกระจายที่ซับซ้อนและเกี่ยวข้องกับสาขาโหนดและจุดใช้งานมากมาย ดังนั้นหลังจากจุดตรวจสอบความชื้นปกติความชื้นจะถูกแทรกซึมเนื่องจากการรั่วไหลของร่องรอยการออกแบบระบบที่ไม่มีประสิทธิภาพความล้มเหลวขององค์ประกอบหรือความผิดพลาดของกระบวนการเป็นต้นซึ่งส่งผลกระทบต่อการใช้งานปลายน้ำ ในขณะที่พูร่า พลัส ที่ติดตั้งในระบบกระจายสินค้า สามารถให้คำแนะนำการตอบสนองที่รวดเร็ว ที่ระดับความชื้น 20 ppb เวลาตอบสนองที่ไม่ต่อเนื่องของ 1 ppb น้อยกว่า 1 นาที ไฮไลท์ การตอบสนองอย่างรวดเร็วต่อความแตกต่างของความชื้นระดับ ppb ความไวของระดับ ppb ความชื้นต่ำ (<1 ppb) แนวคิดใหม่สำหรับการติดตั้งการวัดแบบหลายจุด ความต้องการการบำรุงรักษาต่ำ ตัวบ่งชี้สถานะ ประเภทไฟสัญญาณ สามารถตั้งจุดเตือนและเตือนภัยได้ เข้ากันได้กับเครือข่าย Modbus ซอฟต์แวร์หลายช่องทางสำหรับอินเตอร์เฟซการควบคุมระยะไกล การตรวจจับท่อส่งก๊าซบริสุทธิ์พิเศษ (UHP)
ดัชนีทางเทคนิค
ความเร็วในการตอบสนอง <1 นาที 20 ppb การเปลี่ยนแปลงความชื้น 1 ppb เวลาตอบสนอง ช่วงความชื้น 1 ppb ถึง 20,000 ppm ช่วงความดัน 0 ถึง 10 บาร์ เกรดความต้านทานแรงดัน 300 บาร์ การทดสอบการรั่วไหล 0-9 mbar ลิตร / วินาที ช่วงการไหลของการทำงาน 1 ~ 10 ลิตร / นาที อุณหภูมิในการทำงาน 5 ~ 40 ° C อุณหภูมิการจัดเก็บ 30 ~ 70 ° C พาวเวอร์ซัพพลาย 20 ~ 28 โวลต์ DC การใช้พลังงาน สูงสุด 5 วัตต์ ระดับฟิวส์ภายนอก 500 mA ประเภทละลายอย่างรวดเร็ว เอาท์พุทข้อมูล Modbus ASCII สองสาย RS485 สัญญาณเตือนและสัญญาณเตือน 2 ทาง แม็กซ์ แรงดันไฟฟ้า 40 โวลต์ DC แม็กซ์ ปัจจุบัน 100 มิลลิเมตร วัสดุสัมผัสแก๊ส วัสดุที่อยู่อาศัย สแตนเลส AISI 316L, พื้นผิวด้านใน Electropolished <10 Ra โครงสร้างเซนเซอร์ อลูมิเนียมออกไซด์อิเล็กโทรไลต์,ชั้นป้องกันทองคำด้านบน,ชั้นอลูมิเนียมด้านล่าง ปริมาณภายใน 4.4 ซม.³ น้ำหนัก 450 กรัม อินเทอร์เฟซ Airway 1/4 'วีดีโอเมตร อินเตอร์เฟซไฟฟ้า 9-pin D-type m อินเตอร์เฟซ ความเข้ากันได้ทางแม่เหล็กไฟฟ้า EN50081-2 และ EN50081-2