ข้อกำหนดการวัด
สแกนรูปร่างสามมิติของพื้นผิวของชิ้นส่วนอิเล็กทรอนิกส์แยกโปรไฟล์เพื่อวัดความแตกต่างของส่วนตำแหน่งที่ต้องการบนพื้นผิว

คุณสมบัติหลัก ภาพรวม
1. การวัดแบบไม่สัมผัสการออกแบบแบบบูรณาการ

2. การสแกนสัณฐานวิทยาสามมิติการประมวลผลข้อมูลมัลติฟังก์ชั่น
3. เหมาะสำหรับการวัดที่แม่นยำของวัสดุต่างๆ

4. ใช้งานง่ายสะดวกในการโหลดและถอดชิ้นส่วน

5. ความเร็วในการสแกนที่รวดเร็วและความแม่นยำของตำแหน่งสูง

6. ± 0.5 ถึง± 1μmรับประกันความแม่นยำในการทำซ้ำ

7. ความเสถียรสูงและความสามารถในการป้องกันการรบกวนที่แข็งแกร่ง

ผลการวัด
ความแตกต่างของส่วนตำแหน่งที่วัดได้ประมาณ 320μm

การแก้ปัญหาของอุปกรณ์วัดในขั้นตอนนี้

1. มีความต้องการบางอย่างสำหรับวัสดุวัด
2. การวัดแบบสัมผัสความเสียหายต่อวัสดุวัด
3. ช่วงการวัดขนาดเล็กตำแหน่งที่ไม่แน่นอนการกำหนดยาก
4. ความเร็วในการวัดช้าความแม่นยำต่ำข้อผิดพลาดในการวัดขนาดใหญ่

5. โครงสร้างที่ซับซ้อนและต้นทุนสูง